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电子装置
Abstract:
本发明提供电子装置,能够实现小型化。电子装置(100)包含:层叠体(2),其由设置有半导体元件的多个半导体芯片(10、20、30)层叠而成;贯通电极(4、6、8),其贯通半导体芯片(10、20、30),将多个半导体芯片(10、20、30)的半导体元件之间电连接;以及设置有MEMS元件的MEMS芯片(40),其载置在层叠体(2)上,在MEMS芯片(40)上设置有与贯通电极(8)连接的安装盘(42)。
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