Invention Grant
- Patent Title: 一种具有体接触结构的PDSOI器件
- Patent Title (English): PD SOI device with body contact structure
-
Application No.: CN201010225638.7Application Date: 2010-07-13
-
Publication No.: CN101931008BPublication Date: 2015-04-08
- Inventor: 陈静 , 伍青青 , 罗杰馨 , 肖德元 , 王曦
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 李仪萍
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种具有体接触结构的PD SOI器件,该器件的有源区包括:栅区、体区、N型源区、N型漏区、体接触区以及硅化物;所述N型源区和N型漏区相对的分别位于所述体区前部的两侧,所述体接触区位于所述体区后部一侧与所述N型源区并排,所述硅化物位于所述体接触区及所述N型源区之上并同时与它们相接触,所述栅区为倒L型,位于所述体区之上,由所述体区的后部向外引出。该器件的体接触制作在源区与栅极引出的交界处,在有效抑制浮体效应的同时,还具有不会增加芯片面积,消除了传统体接触结构增加芯片面积的缺点,并具有制造工艺简单与常规CMOS工艺相兼容等优点。
Public/Granted literature
- CN101931008A 一种具有体接触结构的PDSOI器件 Public/Granted day:2010-12-29
Information query
IPC分类: