公开(公告)号：US07655544B2

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：US11584892

申请日：2006-10-23

Applicant: Haeyon Yang

Inventor： Haeyon Yang

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/36

CPC classification number: C30B29/605 ,  B82Y30/00 ,  C30B23/007 ,  C30B23/04 ,  C30B23/063 ,  C30B25/005 ,  C30B25/105 ,  C30B29/40 ,  Y10S977/70 ,  Y10S977/844

Abstract: Methods and apparatus for producing self-assembling quantum nanostructures by nanoheating a substrate with one or more laser interference patterns.

Abstract translation: 通过用一种或多种激光干涉图案对衬底进行纳米加热来生产自组装量子纳米结构的方法和装置。