一种高效高亮度真空紫外光源装置

    公开(公告)号:CN106469641A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201610261838.5

    申请日:2016-04-25

    Inventor: 谢英英 欧宏炜

    CPC classification number: H01J63/08 H01J63/02

    Abstract: 本发明提供了一种高效高亮度真空紫外光源装置,包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置。本发明装置利用等离子局域场原理在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m),可以直接电离激发等离子,不需要传统的点火装置,简化了系统,提高了实用和稳定性;通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置,可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度;本发明装置不受传统的工作气体限制,可以使用多种不同的工作气体,发出的紫外光能量可以覆盖6~50eV;另外本发明的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。

    用于发光的配置和方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100372043C

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN02828020.2

    申请日:2002-12-10

    Inventor: T·弗兰克

    CPC classification number: H01J63/08 H01J63/06

    Abstract: 本发明涉及一种发光的配置,包括包括透明或半透明窗口(10)的气密密封壳体(4);布置在所述壳体内并覆盖所述窗口至少主要部分的一层荧光物质(3);布置在所述壳体内以便发射电子的电子发射阴极(1);所述壳体填充适用于电子雪崩放大的气体;所述阴极和阳极在使用期间保持在电位下,使得所述发射的电子加速并在所述气体中雪崩放大;所述层布置成穿过所述窗口发光以响应雪崩放大的电子的冲击和/或响应暴露于紫外光下,紫外光是由于雪崩放大的电子和该气体之间的相互作用而在气体中发射的。

    发光装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102089853B

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN200980126594.8

    申请日:2009-07-08

    Inventor: 栎原勉 幡井崇

    CPC classification number: H01J61/305 H01J61/16 H01J63/04 H01J63/08

    Abstract: 本发明的发光装置由气密容器(1)、气体、电子源(2)、阳极电极(3)、控制装置(5)及荧光体(4)构成。气密容器具有气密性。气体被密封在气密容器(1),并该气体受到电子(500)的激发而发射第一光(501)。电子源(2)配置在气密容器(1)内部,因施加驱动电压而发射电子(500)。阳极电极(3)配置在气密容器(1)内部。控制装置(5)向电子源(2)施加驱动电压。荧光体(4)设置在气密容器(1)的内部,并受到所述第一光(501)的激发而发射第二光。电子源(2)因施加放电电压而发射出电子(500),该电子(500)的能量分布具有峰值。能量分布的所述峰值比所述气体的激发能大,比所述气体的离子能小。

    电子发射式发光元件及其发光方法

    公开(公告)号:CN101246804A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200710199163.7

    申请日:2007-12-18

    CPC classification number: H01J61/62 H01J63/08

    Abstract: 本发明公开了一种电子发射式发光元件及其发光方法。电子发射式发光元件包括阴极结构、阳极结构、荧光层以及低压气体层。荧光层位于该阴极结构与该阳极结构之间。低压气体层填充于该阴极结构与该阳极结构之间,有诱导阴极均匀发射电子的作用。低压气体层有一电子平均自由路径,允许至少足够数量的电子在一操作电压下直接撞击该荧光层。

    显示像素结构与显示装置

    公开(公告)号:CN100593835C

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200710199162.2

    申请日:2007-12-18

    CPC classification number: H01J61/62 H01J63/08

    Abstract: 本发明公开了一种显示像素结构和显示装置。该显示像素结构包括第一基板与第二基板。多个阴极结构层,位于该第一基板上。第二基板是光穿透材料。多个阳极结构层位于第二基板上,其中阳极结构是光穿透导电材料。第一基板与第二基板是相面对,使该阴极结构层与该阳极结构层分别对准。分隔结构位于第一基板与第二基板之间,分别将该阳极结构层与该阴极结构层对应分隔,以构成多个空间。多个荧光层分别位于该阳极结构层与该阴极结构层之间。低压气体分别填入该空间。低压气体有一电子平均自由路径,允许至少足够数量的电子在一操作电压下直接撞击荧光层。

    一种同轴气体放电真空紫外光源装置

    公开(公告)号:CN106941073A

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201710143080.X

    申请日:2017-03-10

    CPC classification number: H01J63/08 H01J63/02

    Abstract: 本发明采用射频气体放电方式激发惰性气体等离子体,提供一种用于产生真空紫外光源的装置。该装置由中心柱形相互作用腔、同轴环形放电光源腔、射频螺旋共振激发腔与超高真空法兰连接件四部分组成。该装置采用氟化镁晶体材料制成的圆管作为光学窗,真空紫外光在氟化镁圆管外壁的同轴环形放电光源腔产生,穿过氟化镁圆管照射到内部中心柱形相互作用腔,直接作用于目标物质,缩短光线传播距离,增加光源有效面积,减小光束发散角,提高光源利用率;该装置采用无极射频放电方式激发气体等离子体,并通过填充不同惰性气体产生特定波长真空紫外光子,通过调节气体气压和射频频率、功率等参数,可以调节真空紫外光输出功率,满足不同应用对光源的需求。

    光源
    10.
    发明授权
    光源 失效

    公开(公告)号:CN103155093B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201180048556.2

    申请日:2011-08-17

    Inventor: 松浦惠树

    CPC classification number: F21V7/043 H01J61/025 H01J63/04 H01J63/08 H01J65/04

    Abstract: 该光源(1)具备:收纳产生光的发光部(2)的发光筒部(3A);一个端侧连接于发光筒部(3A),并将从发光部(2)产生的光引导至设置在另一个端侧的出射窗部(4);以及插入固定在导光筒部(3B)的出射窗部(4)与连接发光筒部(3A)和出射窗部(4)的部位之间且内壁面是反射光的反射面(9a)的筒状的反射筒部(9)。

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