一种紫外光激励弯管臭氧发生设备及其发生方法

    公开(公告)号:CN109205565A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201811155634.9

    申请日:2018-10-02

    Applicant: 殷洪斌

    Inventor: 殷洪斌

    CPC classification number: C01B13/10

    Abstract: 本发明涉及一种紫外光激励弯管臭氧发生设备及其发生方法,包括基座、放置座、臭氧发生结构、进气部、回气部、固定部以及紫外光发生部;臭氧发生结构包括有一体设置的第一管段和第二管段;进气端包括若干进气口;回气部设置于放置座上,当臭氧发生结构固定于放置座上时,回气部工作以从过气腔抽取产生的臭氧;紫外光发生部设置于基座上,紫外光发生部包括若干光发生器以及光程调节器,每一光发生器正对一过气口设置,第二管段远离第一管段的一端形成有透光面,光发生器用于产生紫外光束并将紫外光束通过透光面投射值对应的受光间隙通道,放置座通过光程调节器固定于基座上,光程调节器用于调节臭氧发生结构和放置座之间的距离。

    臭氧产生装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104692331A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410046945.7

    申请日:2014-02-11

    CPC classification number: C01B13/10

    Abstract: 本发明公开一种臭氧产生装置,其包括反应腔体、紫外光源和灯管保护套。反应腔体包括第一端面、第二端面以及与第一及第二端面连接的侧壁。紫外光源置于反应腔体内,且与反应腔体的侧壁之间形成气体反应空间。灯管保护套具有底部和套体以定义出一容置空间,其中紫外光源的一端置于该容置空间内,且灯管保护套的底部、反应腔体的第一端面以及该反应腔体的该侧壁的一部分共同定义出进气缓冲空间。当气体经由进气口通入反应腔体时,先流入进气缓冲空间,再流入气体反应空间。

    臭氧发生器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103906705A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201280040262.X

    申请日:2012-07-13

    CPC classification number: B01J19/123 C01B13/10

    Abstract: 一种臭氧发生器,其包含紫外光源和限定紫外光源周围空间的壳体。壳体构造成引导含氧气体通过臭氧发生区,在臭氧发生区中,含氧气体暴露至紫外光。壳体还至少部分地限定非反应区,在非反应区中,任何气体或流体都基本不流动,并且其中紫外光源发射紫外光通过非反应区。

    利用电子束技术产生臭氧和等离子体

    公开(公告)号:CN103262220A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201180060362.4

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 本发明除了其它方面之外提出了用于提供臭氧发生器或等离子体发生器的系统和方法,所述臭氧发生器或等离子体发生器在与反应腔室分隔开的电子发生腔室中产生电场。所述电子发生腔室中的电子束发射器被配置用来发出电子束,且被电子可渗透的阻挡件与所述反应腔室分隔开,所述阻挡件提供了所述电子束穿过的窗口。电子在所述电子发生腔室中被加速到所需的能量并穿过所述阻挡件而被传输至所述反应腔室,输入气体源将输入气体引入至所述反应腔室中。输入气体可以在所述反应腔室内与所述电子束反应以形成含有等离子体或含有臭氧浓度的输出气体,并且该输出气体从所述反应腔室传输至晶圆处理腔室。

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