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公开(公告)号：CN101108720A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710137047.2
申请日：2007-07-19
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L29/84 , B81B2201/034 , B81C1/00246 , B81C2203/0742
Abstract: 本发明的目的在于：通过相同的工序，将微机电装置包括的微结构和电路制造在相同的绝缘表面上。本发明的微机电装置集成有在具有绝缘表面的衬底上包括晶体管的电路和微结构。微结构包括具有与晶体管的栅绝缘层以及在栅绝缘层上设计的半导体层的叠层体相同的叠层结构的结构层。就是说，结构层包括由与栅绝缘层相同的绝缘膜形成的层，并且还包括与晶体管的半导体层相同的半导体膜形成的层。进而，微结构通过将用于晶体管的栅电极、源电极、漏电极的导电层用作牺牲层来制造。
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公开(公告)号：CN105103031A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480015234.1
申请日：2014-03-13
IPC: G02B26/08
CPC classification number: F16C11/12 , B81B3/0043 , B81B2201/0235 , B81B2201/034 , B81B2201/042 , B81B2203/0118 , B81B2203/0163 , B81C1/0015 , B81C1/00198 , B81C1/00523 , B81C2201/013 , E05D1/02 , E05D7/00 , E05D11/0081 , F16F1/48 , F16F2224/025 , F16F2226/00 , F16F2226/042 , G01C19/02 , G01P15/09 , G01P15/093 , G01P15/125 , G02B26/0833 , G02B26/105 , Y10T16/522 , Y10T16/525 , Y10T29/24 , Y10T29/25
Abstract: 本发明公开了一种机械设备(20、50、70、80、120)，其包括由刚性的弹性材料制成的窄长元件(26、54、66、90、122)。刚性框架(28、52、64、92)被配置为锚定所述元件的与框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在梁和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件在间隙内自由地移动。不同于刚性的弹性材料的固体填充材料(30、56、68、94、102、124)填充所述元件和所述框架之间的间隙的至少一部分，以允许元件在间隙内的第一运动模式，而抑制不同的第二运动模式。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101427336A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780014646.3
申请日：2007-04-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B81B5/00 , B81B2201/018 , B81B2201/034 , H01H1/0036 , H01P1/127
Abstract: 本发明的微机械开关是一种响应来自外部的控制信号，切换信号电极间的电连接的微机械开关，其中，来自外部的控制信号包括实现信号应通过的信号电极之间的电连接的第1控制信号，以及切断该信号电极之间的电连接的第2控制信号，所述微机械开关具备：基板；设置于基板上，并能在基板上旋转的旋转体；设置于旋转体上的可动电极；第1信号电极，一端与可动电极的一端进行电连接，另一端设置于基板上；第2信号电极，设置于旋转体的周围，并位于因旋转体的旋转，能够与可动电极的另一端实现电连接的位置；及驱动部，响应第1控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极实现电连接的位置，响应第2控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极之间的电连接被切断的位置。
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公开(公告)号：CN105103031B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201480015234.1
申请日：2014-03-13
IPC: G02B26/08
CPC classification number: F16C11/12 , B81B3/0043 , B81B2201/0235 , B81B2201/034 , B81B2201/042 , B81B2203/0118 , B81B2203/0163 , B81C1/0015 , B81C1/00198 , B81C1/00523 , B81C2201/013 , E05D1/02 , E05D7/00 , E05D11/0081 , F16F1/48 , F16F2224/025 , F16F2226/00 , F16F2226/042 , G01C19/02 , G01P15/09 , G01P15/093 , G01P15/125 , G02B26/0833 , G02B26/105 , Y10T16/522 , Y10T16/525 , Y10T29/24 , Y10T29/25
Abstract: 本发明公开了一种机械设备(20、50、70、80、120)，其包括由刚性的弹性材料制成的窄长元件(26、54、66、90、122)。刚性框架(28、52、64、92)被配置为锚定所述元件的与框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在梁和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件在间隙内自由地移动。不同于刚性的弹性材料的固体填充材料(30、56、68、94、102、124)填充所述元件和所述框架之间的间隙的至少一部分，以允许元件在间隙内的第一运动模式，而抑制不同的第二运动模式。
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公开(公告)号：CN107112126A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580068493.5
申请日：2015-12-11
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
Inventor： 托马斯·里塞奇 , 汉斯-乔基姆·昆泽尔 , 蒂姆·瑞默
CPC classification number: H01F1/06 , B81B2201/034 , B81B2201/042 , B81C1/00126 , B81C2201/0188 , G01R33/38 , G01R33/3802 , G02B26/085 , G02B26/101 , H01F10/08 , H01F21/06 , H01F41/046 , H01F41/16 , H01F41/301 , H01F41/32 , H01F2007/068 , H02K15/02 , H02K33/16 , B81C1/00134
Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于制造具有三维磁结构的器件的方法。该方法包括第一步骤：将磁性粒子施加或引入到载体元件上或载体元件中，其中在所述磁性粒子之间形成多个至少部分互连的空腔，并且所述磁性粒子在接触点处彼此接触。该方法附加地包括第二步骤：通过对磁性粒子和载体元件的布置进行涂覆来连接接触点处的磁性粒子，其中空腔至少部分地被在涂覆时产生的层渗透，使得结果是三维磁结构。此外，方法包括第三步骤：在所述载体元件或附加载体元件上提供导体环路布置，使得：当电流流经导体环路布置时，(1)导体环路布置的电感被三维磁结构改变，或(2)力以由电流引起的磁场作用在三维磁结构或导体环路布置上，或(3)当三维磁结构的位置改变时，通过导体环路布置感生电流。
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公开(公告)号：CN101108720B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200710137047.2
申请日：2007-07-19
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L29/84 , B81B2201/034 , B81C1/00246 , B81C2203/0742
Abstract: 本发明的目的在于：通过相同的工序，将微机电装置包括的微结构和电路制造在相同的绝缘表面上。本发明的微机电装置集成有在具有绝缘表面的衬底上包括晶体管的电路和微结构。微结构包括具有与晶体管的栅绝缘层以及在栅绝缘层上设计的半导体层的叠层体相同的叠层结构的结构层。就是说，结构层包括由与栅绝缘层相同的绝缘膜形成的层，并且还包括与晶体管的半导体层相同的半导体膜形成的层。进而，微结构通过将用于晶体管的栅电极、源电极、漏电极的导电层用作牺牲层来制造。
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公开(公告)号：CN101392758A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810144607.1
申请日：2008-06-20
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor： W·杨
CPC classification number: F04D17/168 , B81B3/0021 , B81B2201/034 , B81B2201/036 , B81B2203/056 , F04D17/127
Abstract: 本发明涉及径向分级微型涡轮分子泵。一种径向涡轮分子真空泵，包括转子和定子，该转子由具有整体制造的微型叶片的硅转子表面制成，该定子由具有相应的整体制造槽的硅定子表面制成。该微型叶片和槽以多重环布置，并且该转子和定子盘相邻布置，以产生交叉的定子和转子叶片环。该交叉的定子和转子叶片环形成在径向上的多级压缩。
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