用于照射柱形衬底的装置

    公开(公告)号:CN107206641A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201580075273.5

    申请日:2015-12-11

    CPC classification number: B29C35/08 B29C35/10 B29C2035/0822 B29C2035/0827

    Abstract: 已知的用于照射柱形衬底(2)的装置(1)具有包含中心轴(4)的柱形照射室(3)和围绕照射室(3)延伸的辐射器单元(5)。为以此为基础提供一种能够简单快速地改装,并且还实现对衬底(2)的均匀照射的装置(1),本发明提出,所述辐射器单元(5)由多个相连的区段(5a,5b,5c)构成,其中所述区段(5a,5b,5c)分别具有一个光学主辐射器(6a),其包含一个经照亮的相对中心轴(4)向外弯曲的辐射管段(a),且其中这些辐射管段布置在同一个垂直于所述中心轴(4)延伸的辐射器平面中。

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