公开(公告)号：CN104884409B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201380067799.X

申请日：2013-12-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 岩澤顺一 ,  青岛利裕

IPC: C04B35/50 ,  C04B41/87

CPC classification number: C04B41/87 ,  C04B35/505 ,  C04B35/62222 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5045 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/781 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/963 ,  C04B2237/066 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/592 ,  C23C4/12 ,  C23C16/4404 ,  C23C24/04 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/68757 ,  C04B35/10 ,  C04B41/4543

Abstract: 本发明提供一种耐等离子性构件，其特征在于，具备：基材；及层状结构物，形成于所述基材的表面，包含氧化钇多结晶体且具有耐等离子性，所述层状结构物具有：第1凹凸结构；及第2凹凸结构，在所述第1凹凸结构上重叠而形成，具有与所述第1凹凸结构相比更细微的凹凸。能够提高覆盖腔室内壁的被膜的密合强度或密合力，或能够减少微粒。

公开(公告)号：CN104884409A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380067799.X

申请日：2013-12-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 岩澤顺一 ,  青岛利裕

IPC: C04B35/50 ,  C04B41/87

CPC classification number: C04B41/87 ,  C04B35/505 ,  C04B35/62222 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5045 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/781 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/963 ,  C04B2237/066 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/592 ,  C23C4/12 ,  C23C16/4404 ,  C23C24/04 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/68757 ,  C04B35/10 ,  C04B41/4543

Abstract: 本发明提供一种耐等离子性构件，其特征在于，具备：基材；及层状结构物，形成于所述基材的表面，包含氧化钇多结晶体且具有耐等离子性，所述层状结构物具有：第1凹凸结构；及第2凹凸结构，在所述第1凹凸结构上重叠而形成，具有与所述第1凹凸结构相比更细微的凹凸。能够提高覆盖腔室内壁的被膜的密合强度或密合力，或能够减少微粒。