公开(公告)号：CN1578134A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410071150.8

申请日：2004-07-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 中野正洋 ,  真下朗 ,  佐藤胜男

IPC: H03H9/64 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02992 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05023 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/16225 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/02984 ,  H03H9/0576 ,  H03H9/059 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/72 ,  H03H9/725 ,  Y10T29/42 ,  H01L2924/00014

Abstract: 在依据本发明的一个具体实施方案的声表面波元件中，在薄膜电极18上形成的凸起电极20带有通孔31。另外，当部分凸缘进入凸起电极20的通孔31后，由于穿过薄膜电极28的氧化膜18a，在凸起电极20上的凸缘26到达薄膜电极18。由此，实现压电单晶衬底28上形成的薄膜电极18和凸缘26之间的传导。由此，在由单晶体铝制成的薄膜电极18的表面上形成氧化膜18a，但是进入凸起电极20的通孔31的部分凸缘26穿过该氧化膜18a，这样实现薄膜电极18和凸缘26之间更高精确度的传导。