公开(公告)号：CN112469536B

公开(公告)日：2023-02-14

申请号：CN201980049993.2

申请日：2019-08-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 直井克夫 ,  津田启史 ,  定地龙男

IPC: B24B27/06 ,  B24B49/12 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明提供可高精度且容易地检测刀片的颤动的切削装置。切削装置具有：载物台，其设置对象物；切削部，其具有切削上述对象物的刀片和使上述刀片旋转的旋转驱动部；Z轴移动机构，其使上述载物台或上述切削部在改变设置面和旋转轴的距离的Z轴方向上移动；X轴移动机构，其使上述载物台或上述切削部在X轴方向上移动；第一光电检测部，其具有射出光的第一射出部和在与上述第一射出部之间配置为夹着上述刀片的边缘部分且供由上述第一射出部射出的光入射的第一入射部，检测上述边缘部分的位置，连结上述第一射出部和上述第一入射部的第一检测轴相对于上述刀片的旋转面在倾斜方向上交叉。

公开(公告)号：CN112469536A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980049993.2

申请日：2019-08-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 直井克夫 ,  津田启史 ,  定地龙男

IPC: B24B27/06 ,  B24B49/12 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明提供可高精度且容易地检测刀片的颤动的切削装置。切削装置具有：载物台，其设置对象物；切削部，其具有切削上述对象物的刀片和使上述刀片旋转的旋转驱动部；Z轴移动机构，其使上述载物台或上述切削部在改变设置面和旋转轴的距离的Z轴方向上移动；X轴移动机构，其使上述载物台或上述切削部在X轴方向上移动；第一光电检测部，其具有射出光的第一射出部和在与上述第一射出部之间配置为夹着上述刀片的边缘部分且供由上述第一射出部射出的光入射的第一入射部，检测上述边缘部分的位置，连结上述第一射出部和上述第一入射部的第一检测轴相对于上述刀片的旋转面在倾斜方向上交叉。