公开(公告)号：CN107097136B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201710073524.7

申请日：2017-02-10

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 松冈大辅 ,  香川真一 ,  定地龙男

IPC: B24B27/06 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种可以减小因对切削痕迹进行摄像而引起的对制造周期的影响的切削装置及切削方法。若设切削刀刃(23)的Y方向位置为Y＝0、主轴单元(20)相对于θ工作台(40)的相对的切削分度进给方向为+Y方向、切削分度间距为Yp，则摄像装置(90L)在摄像视野包含工件(10)的存在平面上的由Y＝‑(k×Yp)(其中，k是满足k≧0的整数)表示的假想直线的一部分。在切削工序中使工件(10)在X方向上移动时，利用摄像装置(90L)，对在该切削工序中形成的切削痕迹进行摄像。

公开(公告)号：CN107097136A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201710073524.7

申请日：2017-02-10

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 松冈大辅 ,  香川真一 ,  定地龙男

IPC: B24B27/06 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种可以减小因对切削痕迹进行摄像而引起的对制造周期的影响的切削装置及切削方法。若设切削刀刃(23)的Y方向位置为Y＝0、主轴单元(20)相对于θ工作台(40)的相对的切削分度进给方向为+Y方向、切削分度间距为Yp，则摄像装置(90L)在摄像视野包含工件(10)的存在平面上的由Y＝‑(k×Yp)(其中，k是满足k≧0的整数)表示的假想直线的一部分。在切削工序中使工件(10)在X方向上移动时，利用摄像装置(90L)，对在该切削工序中形成的切削痕迹进行摄像。