公开(公告)号：CN113614373A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080019857.1

申请日：2020-01-10

Applicant: PSG加利福尼亚公司

Inventor： P·麦加里 ,  D·麦克德莫特

IPC: F04B43/00 ,  F04B43/02 ,  F04B43/06 ,  F04B43/073 ,  F04B45/04 ,  F04B49/10

Abstract: 气动泵，比如气动隔膜泵，包括泵体、至少部分由泵体限定的工艺液体通路和至少部分由泵体限定的空气通路，其中工艺液体通路和空气通路在泵体内彼此流体分离。该泵进一步包括泄漏检测和容纳组件，其与泵体集成并具有配置为感测从工艺液体通路泄漏到空气通路中的工艺液体的工艺液体传感器，以及与工艺液体传感器通信联接并且配置响应于工艺液体传感器感测到工艺液体泄漏而关闭以将泄漏的工艺液体容纳在泵体和组件内的截止阀。

公开(公告)号：CN113614373B

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202080019857.1

申请日：2020-01-10

Applicant: PSG加利福尼亚公司

Inventor： P·麦加里 ,  D·麦克德莫特

IPC: F04B43/00 ,  F04B43/02 ,  F04B43/06 ,  F04B43/073 ,  F04B45/04 ,  F04B49/10

Abstract: 气动泵，比如气动隔膜泵，包括泵体、至少部分由泵体限定的工艺液体通路和至少部分由泵体限定的空气通路，其中工艺液体通路和空气通路在泵体内彼此流体分离。该泵进一步包括泄漏检测和容纳组件，其与泵体集成并具有配置为感测从工艺液体通路泄漏到空气通路中的工艺液体的工艺液体传感器，以及与工艺液体传感器通信联接并且配置响应于工艺液体传感器感测到工艺液体泄漏而关闭以将泄漏的工艺液体容纳在泵体和组件内的截止阀。