光学传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105374838B

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201510489874.2

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 本发明提供一种光学传感器。光学传感器包含半导体基板。光感测区在半导体基板上。导波区用于从波入射部将光引导经过导波部以及至样品置放部。导波部包含第一介电层,其包含第一折射率。第二介电层包含第二折射率。第二折射率小于第一折射率。第一互连部位于导波部中,用于从光感测区将电子信号传送至外部电路。样品置放部在光感测区上方。

    感测模块及感测方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106404727A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610602101.5

    申请日:2016-07-27

    Inventor: 林圣富

    Abstract: 本发明提供一种感测模块及感测方法,其中感测模块,包括样本装载层、感测层以及光学共振层。光学共振层位于样本装载层及感测层之间。样本装载层包括至少一样本装载槽。样本装载槽暴露出部分的光学共振层,且样本装载槽是用以装载样本。光学共振层的表面具有多个光学共振结构,且光学共振结构位于样本装载槽的底部旁边或样本装载槽的底部。感测层被配置用以接收光并将光转换为电信号。本发明另提出一种感测方法。本发明具有高灵敏度、高信噪比以及预防光漂白的效果。

    光学感测模块
    5.
    发明公开
    光学感测模块 审中-实审

    公开(公告)号:CN112525823A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202011540279.4

    申请日:2017-02-04

    Abstract: 本发明提供一种光学感测模块,用以检测样本的特性。光学感测模块包含光源、导光板、第一包覆层、光汇聚层、过滤层和多个传感器。光源用以提供激发光束。多个传感器的位置对应于多个孔洞的位置。在激发光束进入导光板之后,激发光束的至少一个部分经由导光板被孔洞暴露的一部分的表面透射到样本。样本被激发光束激发以发射信号光束,且信号光束以一次序穿过光汇聚层和过滤层并行进到传感器。本发明的光学感测模块具有高敏感度、高信噪比和较薄的厚度。

    感测模块及感测方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106404727B

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201610602101.5

    申请日:2016-07-27

    Inventor: 林圣富

    Abstract: 本发明提供一种感测模块及感测方法,其中感测模块,包括样本装载层、感测层以及光学共振层。光学共振层位于样本装载层及感测层之间。样本装载层包括至少一样本装载槽。样本装载槽暴露出部分的光学共振层,且样本装载槽是用以装载样本。光学共振层的表面具有多个光学共振结构,且光学共振结构位于样本装载槽的底部旁边或样本装载槽的底部。感测层被配置用以接收光并将光转换为电信号。本发明另提出一种感测方法。本发明具有高灵敏度、高信噪比以及预防光漂白的效果。

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