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公开(公告)号：CN108602170B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201580084695.9
申请日：2015-11-20
Applicant: NTT前进技术株式会社 , 米波克斯株式会社
Abstract: 提供自动地一并进行光纤连接器等工件端面的多阶段研磨的研磨方法、研磨膜。研磨方法边使工件端面与配置于研磨盘的研磨膜抵接，边在与基准面平行的面内使工件端面与研磨盘相对移动从而一并进行工件的多阶段研磨，工件端面相对于研磨膜以直径2R进行圆周运动，圆周运动的中心在研磨膜上以规定距离S向一个方向直线移动，研磨膜沿着直线移动的方向具备第1、第2及第3研磨面，各研磨面的直线移动方向上的长度为圆周运动的直径2R以上，研磨膜还在第1与第2研磨面之间具备第1清洁面、在第2与第3研磨面之间具备第2清洁面，以减小圆周运动的一周旋转跨越不同的研磨面时的在规定距离S上的范围，或使圆周运动的一周旋转不会跨越不同的研磨面。
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公开(公告)号：CN108602170A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201580084695.9
申请日：2015-11-20
Applicant: NTT前进技术株式会社 , 米波克斯株式会社
Abstract: 提供自动地一并进行光纤连接器等工件端面的多阶段研磨的研磨方法、研磨膜。研磨方法边使工件端面与配置于研磨盘的研磨膜抵接，边在与基准面平行的面内使工件端面与研磨盘相对移动从而一并进行工件的多阶段研磨，工件端面相对于研磨膜以直径2R进行圆周运动，圆周运动的中心在研磨膜上以规定距离S向一个方向直线移动，研磨膜沿着直线移动的方向具备第1、第2及第3研磨面，各研磨面的直线移动方向上的长度为圆周运动的直径2R以上，研磨膜还在第1与第2研磨面之间具备第1清洁面、在第2与第3研磨面之间具备第2清洁面，以减小圆周运动的一周旋转跨越不同的研磨面时的在规定距离S上的范围，或使圆周运动的一周旋转不会跨越不同的研磨面。
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