公开(公告)号：CN102834908B

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201080065637.9

申请日：2010-07-15

Applicant: LG矽得荣株式会社

Inventor： 朴在泫 ,  崔忠孝

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67326 ,  H01L21/6732

Abstract: 本发明提供了一种用于晶片清洁设备的盒夹具，包括：夹具本体，具有被设计成在内部接收第一晶片的内部空间；以及引导构件，安装在夹具本体中并且操作性地引导待安装在夹具本体中的盒，盒具有被设计成在内部接收具有比第一晶片相对小的直径的第二晶片的内部空间。

公开(公告)号：CN102834908A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201080065637.9

申请日：2010-07-15

Applicant: LG矽得荣株式会社

Inventor： 朴在泫 ,  崔忠孝

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67326 ,  H01L21/6732

Abstract: 本发明提供了一种用于晶片清洁设备的盒夹具，包括：夹具本体，具有被设计成在内部接收第一晶片的内部空间；以及引导构件，安装在夹具本体中并且操作性地引导待安装在夹具本体中的盒，盒具有被设计成在内部接收具有比第一晶片相对小的直径的第二晶片的内部空间。