公开(公告)号：CN106340361B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201610525682.7

申请日：2016-07-05

Applicant: KOA株式会社

Inventor： 广岛安

IPC: H01C7/00 ,  H01C7/06 ,  H01C17/12

CPC classification number: H01C7/06 ,  H01C7/006 ,  H01C7/021 ,  H01C7/022 ,  H01C7/041 ,  H01C7/042 ,  H01C17/12

Abstract: 本发明涉及薄膜电阻器及其制造方法。该薄膜电阻器，在保持良好的TCR特性的同时，具有比现有产品高的电阻值。该薄膜电阻器在基板上形成有一对电极和与所述一对电极连接的电阻膜，所述电阻膜包括第一电阻膜和第二电阻膜，所述第二电阻膜的TCR与所述第一电阻膜的TCR不同，所述第一电阻膜和所述第二电阻膜均以Si、Cr、N为主要成分。

公开(公告)号：CN106340361A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610525682.7

申请日：2016-07-05

Applicant: KOA株式会社

Inventor： 广岛安

IPC: H01C7/00 ,  H01C7/06 ,  H01C17/12

CPC classification number: H01C7/06 ,  H01C7/006 ,  H01C7/021 ,  H01C7/022 ,  H01C7/041 ,  H01C7/042 ,  H01C17/12

Abstract: 本发明涉及薄膜电阻器及其制造方法。该薄膜电阻器，在保持良好的TCR特性的同时，具有比现有产品高的电阻值。该薄膜电阻器在基板上形成有一对电极和与所述一对电极连接的电阻膜，所述电阻膜包括第一电阻膜和第二电阻膜，所述第二电阻膜的TCR与所述第一电阻膜的TCR不同，所述第一电阻膜和所述第二电阻膜均以Si、Cr、N为主要成分。