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公开(公告)号：CN1926437B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200580006820.0
申请日：2005-03-02
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07335
Abstract: 提供即使作为检查对象的被检查电路基板具有微细间距的微小电极也能进行可靠性高的电路基板的电检查的电路基板的检查装置，在利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查的电路基板的检查装置中，使用了导电性粒子在厚度方向上排列的同时在面方向上均匀地分散了的各向异性导电性片作为在间距变换用基板的被检查电路基板一侧配置的第1各向异性导电性片。此外，由一对与被检查电路基板的各被检查电极电连接的电流用端子电极和电压用端子电极构成间距变换用基板的连接电极，在连接器基板上配置了分别与间距变换用基板的电流用端子电极和电压用端子电极电连接的电流用销钉侧电极和电压用销钉侧电极。此外，在中继销钉单元中的第1绝缘板与第2绝缘板之间配置中间保持板，在其间在来自表面与背面的接触支撑位置互不相同的位置上配置了支撑销钉。
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公开(公告)号：CN100549708C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200580023882.2
申请日：2005-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07335
Abstract: 提供很好地吸收被检查电路基板的被检查电极的高度不匀，并且即便被检查电极是微细的间距，也能够确保邻接的检查电极之间的绝缘性的电路基板的检查装置以及电路基板的检查方法。在中继销单元31上设置中间保持板36，然后将配置在第1绝缘板34和中间保持板36之间的第1支撑销33的相对于中间保持板的第1触接支撑位置38A，和配置在第2绝缘板35和中间保持板36之间的第2支撑销37的相对于中间保持板36的第2触接支撑位置38B，在中间保持板36的沿着厚度方向投影的中间保持板投影面上，配置在不同的位置上。另外，在间距变换用基板23的被检查电路基板侧，配置以可以沿着该基板的厚度方向移动的方式保持贯通基板的多个刚性导体电极的中继基板29，同时在其两面侧配置较薄的分散型各向异性导电性片22、22，以使得经由分散型各向异性导电性片22、22用中继基板29中继间距变换用基板23和被检查电路基板1的电连接。
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公开(公告)号：CN1985180A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200580023882.2
申请日：2005-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07335
Abstract: 提供很好地吸收被检查电路基板的被检查电极的高度不匀，并且即便被检查电极是微细的间距，也能够确保邻接的检查电极之间的绝缘性的电路基板的检查装置以及电路基板的检查方法。在中继销单元31上设置中间保持板36，然后将配置在第1绝缘板34和中间保持板36之间的第1支撑销33的相对于中间保持板的第1触接支撑位置38A，和配置在第2绝缘板35和中间保持板36之间的第2支撑销37的相对于中间保持板36的第2触接支撑位置38B，在中间保持板36的沿着厚度方向投影的中间保持板投影面上，配置在不同的位置上。另外，在间距变换用基板23的被检查电路基板侧，配置以可以沿着该基板的厚度方向移动的方式保持贯通基板的多个刚性导体电极的中继基板29，同时在其两面侧配置较薄的分散型各向异性导电性片22、22，以使得经由分散型各向异性导电性片22、22用中继基板29中继间距变换用基板23和被检查电路基板1的电连接。
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公开(公告)号：CN1926437A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200580006820.0
申请日：2005-03-02
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07335
Abstract: 提供即使作为检查对象的被检查电路基板具有微细间距的微小电极也能进行可靠性高的电路基板的电检查的电路基板的检查装置，在利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查的电路基板的检查装置中，使用了导电性粒子在厚度方向上排列的同时在面方向上均匀地分散了的各向异性导电性片作为在间距变换用基板的被检查电路基板一侧配置的第1各向异性导电性片。此外，由一对与被检查电路基板的各被检查电极电连接的电流用端子电极和电压用端子电极构成间距变换用基板的连接电极，在连接器基板上配置了分别与间距变换用基板的电流用端子电极和电压用端子电极电连接的电流用销钉侧电极和电压用销钉侧电极。此外，在中继销钉单元中的第1绝缘板与第2绝缘板之间配置中间保持板，在其间在来自表面与背面的接触支撑位置互不相同的位置上配置了支撑销钉。
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