镀敷造形物的制造方法及电路基板

    公开(公告)号:CN112368643B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN201980044459.2

    申请日:2019-06-14

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种无镀敷液的渗入而可制造形状良好的镀敷造形物的镀敷造形物的制造方法、电路基板及表面处理剂以及表面处理剂套组。本发明的镀敷造形物的制造方法包括:步骤(1),将表面处理剂暴露于在表面具有含铜膜的基板上,形成表面处理基板,所述表面处理剂含有0.001质量%~2质量%的选自三唑(A1)及苯并三唑系化合物(A2)中的至少一种三唑化合物(A)及90质量%~99.999质量%的有机溶剂(B);步骤(2),在所述表面处理基板上形成抗蚀剂组合物的涂膜;步骤(3),对所述涂膜进行曝光及显影,形成抗蚀剂图案;以及步骤(4),将所述抗蚀剂图案作为掩模来进行镀敷液处理。

    感光性树脂组合物、抗蚀剂图案膜的制造方法及镀敷造形物的制造方法

    公开(公告)号:CN118511127A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202380016080.7

    申请日:2023-02-13

    Abstract: [课题]本发明的课题在于提供一种溶剂的蒸发性优异并且可制造涂布气泡的生成得到充分抑制的抗蚀剂涂膜的感光性树脂组合物,并提供一种使用所述感光性树脂组合物的抗蚀剂图案膜的制造方法及使用所述抗蚀剂图案膜的镀敷造形物的制造方法。[解决手段]一种感光性树脂组合物,其特征在于包含:聚合物(A),含有具有酚性羟基的结构单元与源自具有酸解离性基的(甲基)丙烯酸酯的结构单元;特定的光酸产生剂(B);以及有机溶剂(C),含有3‑乙氧基乙基丙酸酯,且所述感光性树脂组合物的固体成分浓度为30质量%以上。

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