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公开(公告)号:CN1841192A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610079427.0
申请日:2006-03-16
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/40 , G02F1/1339
Abstract: 一种高灵敏度和高分辨率、显影时间短,并且即使在低曝光量下也可以得到充分的间隔体形状,能够形成弹性回复性、耐摩擦性、与透明基板的附着性、耐热性等性能优良的液晶显示元件用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。该放射线敏感性树脂组合物包括:[A]通过共聚(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(a2)下式(1)所表示的不饱和化合物、以及(a3)除上述(a1)~(a2)以外的其它不饱和化合物而得到的共聚物,[B]聚合性不饱和化合物,和[C]放射线敏感性聚合引发剂。式中,R1表示氢原子或甲基,R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数为1~6的烷基或碳原子数为1~6的烷氧基,并且n是0~6的整数。
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公开(公告)号:CN101174089B
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN200710180825.6
申请日:2007-10-17
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种含有(A)至少含有1种来自(a1)分子内含有至少2个聚合性不饱和基的化合物的聚合单元的共聚物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。提供高灵敏度、高分辨率且可以形成图案形状、压缩特性、摩擦耐性、耐热性等各种性能优异的图案状薄膜、抑制了烧结时的升华物的产生、抑制了LCD显示中的图像残留、对于负载负荷不易产生塑性变形、对于取向膜剥离液等化学试剂具有充分的耐性的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101174089A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200710180825.6
申请日:2007-10-17
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种含有(A)至少含有1种来自(a1)分子内含有至少2个聚合性不饱和基的化合物的聚合单元的共聚物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。提供高灵敏度、高分辨率且可以形成图案形状、压缩特性、摩擦耐性、耐热性等各种性能优异的图案状薄膜、抑制了烧结时的升华物的产生、抑制了LCD显示中的图像残留、对于负载负荷不易产生塑性变形、对于取向膜剥离液等化学试剂具有充分的耐性的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101078879B
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN200710105178.2
申请日:2007-05-24
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物,其特征在于,含有(A)嵌段共聚物、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感放射线性聚合引发剂,其中(A)嵌段共聚物具有2个以上的嵌段链段,在其中的至少一个嵌段链段上含有碱可溶性部位。可以容易地形成高感度、高分辨率、并且图案形状、压缩特性、耐摩擦性、与透明基板的密合性等诸性能优异的图案状薄膜,抑制了LCD显示中的烧屏的间隔物形成用感放射线性树脂组合物,由该组合物形成的间隔物以及其形成方法。另外,还提供可以减少液晶滴加量所引起的未填充区域故障、防止在滤光片上由于压力所造成的损伤、克服在工序上产生的厚度偏差的间隔物形成用感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101266405B
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN200710088634.7
申请日:2007-03-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种拥有足够的流程余裕(Process Margin),可以在1,500J/m2以下的曝光量之下得到形状完美以及足够厚度的间隔体,并持有根据压缩载荷的高度柔软性,以及优越的附着性,耐磨擦性,耐热性等,并可以形成剥离液耐受性优越的显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。作为适用于液晶显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物,含有(A)(a1)含乙烯性不饱和羧酸以及/或者含乙烯性不饱和羧酸酐与(a2)其他含乙烯性不饱和之化合物的共聚物,(B)(b1)3官能以上的(甲基)丙烯酸酯类以及(b2)该(b1)以外的以其他含乙烯性不饱和之化合物为主要成分的聚合性化合物,以及(C)放射线敏感性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN101266405A
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200710088634.7
申请日:2007-03-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种拥有足够的流程余裕(Process Margin),可以在1,500J/m2以下的曝光量之下得到形状完美以及足够厚度的间隔体,并持有根据压缩载荷的高度柔软性,以及优越的附着性,耐磨擦性,耐热性等,并可以形成剥离液耐受性优越的显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。作为适用于液晶显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物,含有(A)(a1)含乙烯性不饱和羧酸以及/或者含乙烯性不饱和羧酸酐与(a2)其他含乙烯性不饱和之化合物的共聚物,(B)(b1)3官能以上的(甲基)丙烯酸酯类以及(b2)该(b1)以外的以其他含乙烯性不饱和之化合物为主要成分的聚合性化合物,以及(C)放射线敏感性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN101078879A
公开(公告)日:2007-11-28
申请号:CN200710105178.2
申请日:2007-05-24
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物,其特征在于,含有(A)嵌段共聚物、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感放射线性聚合引发剂,其中(A)嵌段共聚物具有2个以上的嵌段链段,在其中的至少一个嵌段链段上含有碱可溶性部位。可以容易地形成高感度、高分辨率、并且图案形状、压缩特性、耐摩擦性、与透明基板的密合性等诸性能优异的图案状薄膜,抑制了LCD显示中的烧屏的间隔物形成用感放射线性树脂组合物,由该组合物形成的间隔物以及其形成方法。另外,还提供可以减少液晶滴加量所引起的未填充区域故障、防止在滤光片上由于压力所造成的损伤、克服在工序上产生的厚度偏差的间隔物形成用感放射线性树脂组合物。
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