模压成型模具及其制造方法以及玻璃光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN103708708B

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201310445292.5

    申请日:2013-09-26

    Abstract: 本发明提供模压成型模具、其制造方法及使用其的玻璃光学元件的制造方法。模压成型模具的制造方法能够成型出外观缺陷少的透镜,模压成型模具具有包含由薄膜形成装置成膜出的碳膜的离型膜。该制造方法为具有离型膜的模压成型模具的制造方法,该离型膜包含碳膜,该碳膜通过下述方式成膜,即:利用真空电弧放电在碳阴极上生成碳等离子体,从碳等离子体中只取出离子化后的碳,将所述离子化后的碳照射到被成膜面上而成膜,该制造方法包括:在被成膜面上一边施加第1偏置电压V(1 V)一边成膜出厚度为d(1 nm)的第1碳膜的工序;以及在第1碳膜上一边施加第2偏置电压V(2 V)一边成膜出形成最外层的厚度为d(2 nm)的第2碳膜的工序,所述第1和第2偏置电压V1、V2以及所述厚度d1、d2满足V1>V2且d1>d2。

    模压成型模具及其制造方法以及玻璃光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN103708708A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201310445292.5

    申请日:2013-09-26

    Abstract: 本发明提供模压成型模具、其制造方法及使用其的玻璃光学元件的制造方法。模压成型模具的制造方法能够成型出外观缺陷少的透镜,模压成型模具具有包含由薄膜形成装置成膜出的碳膜的离型膜。该制造方法为具有离型膜的模压成型模具的制造方法,该离型膜包含碳膜,该碳膜通过下述方式成膜,即:利用真空电弧放电在碳阴极上生成碳等离子体,从碳等离子体中只取出离子化后的碳,将所述离子化后的碳照射到被成膜面上而成膜,该制造方法包括:在被成膜面上一边施加第1偏置电压V1(V)一边成膜出厚度为d1(nm)的第1碳膜的工序;以及在第1碳膜上一边施加第2偏置电压V2(V)一边成膜出形成最外层的厚度为d2(nm)的第2碳膜的工序,所述第1和第2偏置电压V1、V2以及所述厚度d1、d2满足V1>V2且d1>d2。

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