含硅酮链的聚合物、涂敷组合物、抗蚀剂组合物及物品

    公开(公告)号:CN117242106A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202280030871.0

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 本发明提供一种作为对涂膜赋予高平滑性的调平剂而发挥功能的含硅酮链的聚合物。具体而言,为至少将具有下述通式(A)所表示的基的聚合性单量体(1)及具有包含聚酯链的基的聚合性单量体(2)作为聚合成分的含硅酮链的聚合物(R基11(R分别独立地为碳原子数14分别独立地为碳原子数1~16~的烷基或3的烷基‑)OSi(R,R12分别独立地为14)3所表示的碳原子数1~6的烷基,R13为碳原子数1~6的烷基,x为0以上的整数)。

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