表面活性剂、涂料组合物和抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN103666006A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310388527.1

    申请日:2013-08-30

    Abstract: 本发明提供能够获得流平性优异,难以起泡,并且即使起泡也会在短时间内消泡的涂料组合物的表面活性剂,以及使用其的涂料组合物和抗蚀剂组合物。所述表面活性剂的特征在于,其为使具有一个直接结合有氟原子的碳原子的数目为4的烷基的自由基聚合性单体(a1)、具有一个直接结合有氟原子的碳原子的数目为6的烷基的自由基聚合性单体(a2)以及具有聚氧亚烷基链的自由基聚合性单体(a3)进行共聚而得到的。

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