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发明公开
机械控制的应力工程光学系统和方法审中-实审

公开(公告)号：CN118511132A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202380016665.9

申请日：2023-01-02

Applicant: ASML荷兰有限公司 , 罗彻斯特大学

Inventor： A·朱博尔 , R·雅各布斯 , R·C·齐默曼 , A·巴西里 , T·G·布朗 , A·A·加拉巴达·德瓦格

IPC: G03F7/20 , G03F9/00

Abstract: 描述了一种快速动态波片。本系统和方法利用在板侧面施加力时在板内部产生的应力双折射。力是使用一组沿板的(多个)侧面对称分布的压电致动器施加的。可以使用控制单元控制力的大小。产生的应力双折射跨越板空间地变化。通过仔细调整力，板可以转换为具有由力决定的任意延迟值的波片。由于确定双折射的参数是力，因此可以使用控制单元来以亚毫秒级速度施加不同的力值组合，以实现对双折射值以及板中取向的快速控制。

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