公开(公告)号：CN1721993A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200410100797.9

申请日：2004-12-14

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·G·M·亨德里克斯 ,  T·A·马特塔亚尔 ,  G·J·C·C·M·里希尔斯

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/00 ,  H01L41/00

CPC classification number: G03F7/70825 ,  G03F7/70758 ,  H02N2/021

Abstract: 本发明提供一种压电致动器系统。压电致动器系统包括大量可以伸长和切变的压电致动器。利用伸长和切变，压电致动器分别响应于第一和第二控制信号而抓紧和移动物体。物体可能的位移受压电致动器的最大切变的限制。为了增大可能的位移，可以控制压电致动器进行线性切变顺序或搬移顺序。在线性切变顺序过程中，移动物体；在搬移顺序过程中，物体基本上静止，而压电致动器相对于物体复位，之后进一步利用线性切变顺序移动物体。压电致动器系统可适合于执行缓慢搬移顺序，该缓慢搬移顺序是相对缓慢地执行搬移顺序，在该顺序过程中可以同时执行线性切变顺序，防止在移动过程中的任何停机时间。

公开(公告)号：CN1721993B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200410100797.9

申请日：2004-12-14

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·G·M·亨德里克斯 ,  T·A·马特塔亚尔 ,  G·J·C·C·M·里希尔斯

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/00 ,  H01L41/00

CPC classification number: G03F7/70825 ,  G03F7/70758 ,  H02N2/021

Abstract: 本发明公开了一种用于移动物体的压电致动器系统，所述系统通过执行至少一次线性切变顺序和搬移顺序来实现物体的移动，(a)所述线性切变顺序通过使所述至少两个压电致动器中的每个通过下述方式来移动所述物体：(i)接合所述物体；和(ii)沿所述第一方向从第一位置切变到第二位置；以及(b)所述搬移顺序在移动所述物体之后通过采用下述步骤将所述至少两个压电致动器中的每个返回到所述第一位置：(i)释放所述至少两个压电致动器中的一个与所述物体的结合同时保持所述至少两个压电致动器中的另一个与所述物体的接合；(ii)通过在与所述第一方向相反的第二方向切变来改变所述一个致动器的切变状态；(iii)使用所述一个致动器再次接合物体。