公开(公告)号：CN119013496A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380033346.9

申请日：2023-03-20

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： R·S·卡帕迪亚 ,  E·M·斯维尔德洛 ,  G·O·瓦斯琴科 ,  I·R·奥利弗 ,  C·拉加古鲁 ,  D·U·H·特雷斯 ,  B·A·萨姆斯 ,  T·W·德赖森 ,  V·G·特尔卡 ,  A·I·厄肖夫

IPC: F16L21/00

Abstract: 一种目标材料生成器包括：储槽系统和喷嘴供应系统之间的流体流动路径，以及在流体流动路径中的耦合组件。目标材料生成器是极紫外光源的一部分。耦合组件包括第一装配件，该第一装配件耦合到第二装配件，从而沿着流体流动路径形成流动导管，其中密封部形成在第一装配件和第二装配件之间；以及套筒，该套筒沿着流动导管的内壁设置并且设置在密封部和流动导管之间，使得污染物陷阱形成在套筒和密封部之间。

公开(公告)号：CN117999856A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202280039881.0

申请日：2022-05-18

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： R·S·卡帕迪亚 ,  B·罗林格 ,  J·M·卢肯斯 ,  G·O·瓦斯琴科 ,  S·甘纳

IPC: H05G2/00

Abstract: 公开了一种毛细管保持系统，该毛细管保持系统包括压力激励套圈，该压力激励套圈是双重密封的并且被配置和布置成使得内部目标材料压力起到增加密封压力的作用。根据一个实施例的另一方面，压力激励套圈被配置和布置成使得毛细管上的密封接触压力更靠近构成喷嘴出口的毛细管自由面5，并因此减小毛细管自由长度，进而增加毛细管的弯曲模式，从而使其不太可能被系统振动激励。

公开(公告)号：CN116235637A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202180065017.3

申请日：2021-08-24

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： R·S·卡帕迪亚 ,  C·拉加古鲁 ,  M·H·A·里恩德斯 ,  S·W·科瓦尔克 ,  G·O·瓦斯琴科

IPC: H05G2/00

Abstract: 减压装置包括由可压缩材料形成并且被安置在目标材料供应系统内的结构的内表面处的减压组件。目标材料供应系统被配置为递送目标材料。该结构的内表面限定目标材料供应系统内的空腔。该结构由刚性材料形成，并被配置为将目标材料包含在空腔内。该减压组件被配置为被动地防止空腔中的压力超过最大允许值。