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公开(公告)号：CN117766606A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311703868.3
申请日：2023-12-12
Applicant: 鹏城实验室
IPC: H01L31/0352 , H01L31/105 , H01L31/18 , H01L31/20
Abstract: 本申请公开了一种光电探测器及其制备方法及光电通信装置，所述光电探测器包括衬底以及光电转换部，所述衬底具有处在第一方向上的两侧，所述光电转换部设于所述衬底的一侧，所述光电转换部包括本征体，所述本征体具有处在第二方向上的中间区域和位于中间区域两侧的两侧部，所述本征体的两侧部对应嵌设有N型掺杂的离子和P型掺杂的离子，以对应形成N型半导体层和P型半导体层；其中，所述第一方向与所述第二方向相交设置。使得N型掺杂和P型掺杂均在本征层发生，避免了用于欧姆接触的多晶硅的淀积，同时L型的掺杂能够确保本征层内部电场的均匀性，从而确保器件拥有较高的带宽。
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