旋转工具心轴、加工平的基板的加工单元、和操作方法

    公开(公告)号:CN107107518B

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201580071120.3

    申请日:2015-11-20

    Abstract: 一种用于加工平的基板的加工单元的旋转工具心轴,其中套筒(13)安装在所述旋转工具心轴上,所述旋转工具心轴包括圆柱芯(14);外周壁(17),所述外周壁(17)向所述套筒(13)施加径向压力来占据静止位置和锁定位置,将所述套筒(13)锁定于所述心轴(12)的适当位置;压力流体回路(21),所述压力流体回路(21)设于所述外周壁(17)与所述圆柱芯(14)之间,用于向所述套筒(13)施加径向压力;以及冷却流体回路(24),所述冷却流体回路(24)允许流体流入所述圆柱芯(14)的区域,冷却所述心轴(12)。

    旋转工具心轴、加工平的基板的加工单元、和操作方法

    公开(公告)号:CN107107518A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580071120.3

    申请日:2015-11-20

    Abstract: 一种用于加工平的基板的加工单元的旋转工具心轴,其中套筒(13)安装在所述旋转工具心轴上,所述旋转工具心轴包括圆柱芯(14);外周壁(17),所述外周壁(17)向所述套筒(13)施加径向压力来占据静止位置和锁定位置,将所述套筒(13)锁定于所述心轴(12)的适当位置;压力流体回路(21),所述压力流体回路(21)设于所述外周壁(17)与所述圆柱芯(14)之间,用于向所述套筒(13)施加径向压力;以及冷却流体回路(24),所述冷却流体回路(24)允许流体流入所述圆柱芯(14)的区域,冷却所述心轴(12)。

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