公开(公告)号：CN108369918A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680070427.6

申请日：2016-12-15

Applicant: 马特森技术有限公司

Inventor： 罗尔夫·布雷芒斯多费尔 ,  佩特·伦贝西斯 ,  约瑟夫·西贝尔 ,  达韦·卡姆

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324 ,  H01L21/60

CPC classification number: H05B3/0047 ,  H01J61/0732 ,  H01J61/526 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67248 ,  H05B31/0057

Abstract: 提供了用于减少一个或更多个弧光灯的污染的系统和方法。一个示例实现方式涉及毫秒退火系统。该毫秒退火系统包括用于使用毫秒退火工艺对基底进行热处理的处理室。该系统还包括一个或更多个弧光灯。一个或更多个弧光灯中的每一个均耦接至用于在弧光灯的操作期间使水循环通过弧光灯的水回路。该系统包括试剂注入源，该试剂注入源被配置成在弧光灯的操作期间将试剂例如氮气引入到循环通过弧光灯的水中。