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公开(公告)号：CN106645252A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611212864.5
申请日：2016-12-25
Applicant: 首钢总公司
IPC: G01N23/227
CPC classification number: G01N23/2273
Abstract: 一种表征材料表面元素分布的XPS成像分析方法，属于材料表面分析技术领域。包括按要求制备需要进行XPS成像的待测样品并装样；开启单色化X射线枪，光斑直径范围为：200μm～500μm；成像区域范围为：200μm×200μm～2000μm×2000μm，采集元素XPS窄谱，采集各个元素X射线光电子能谱时，要求通能相同；数据处理及成像转化过程：去除本底；图谱拟合；元素相对含量的计算及成像转化。优点在于，分析数据直观准确。
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