一种分体式RH炉真空泵结构

    公开(公告)号:CN222163042U

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202420374413.5

    申请日:2024-02-28

    Abstract: 本实用新型公开一种分体式RH炉真空泵结构,包括泵体弯管、真空泵收缩段、真空泵喉口、真空泵扩张段、定位套筒和喷嘴,泵体弯管、真空泵收缩段、真空泵喉口和真空泵扩张段依次连接,定位套筒固定穿设于泵体弯管,定位套筒朝向真空泵方向且与真空泵收缩段、真空泵扩张段在一条中心线上,在定位套筒位于泵体弯管外的一端安装套筒法兰,喷嘴安装有喷嘴法兰,喷嘴法兰与套筒法兰进行法兰连接,使得喷嘴穿设于定位套筒并对中。本方案通过法兰连接实现喷嘴的安装,满足方便拆卸安装的要求,提高了喷嘴拆卸和安装的工作效率,提高了定期检修中维护更换的施工效率,减少了喷嘴位置处的泄漏点,保证了真空泵的抽真空性能,显著提高了真空系统的作业率。

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