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公开(公告)号:CN115605689A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202180039249.1
申请日:2021-03-25
Applicant: 顺利工程技术有限责任公司(DE)
Abstract: 本发明涉及一种压力损失生成设备(1),带有具有工艺气体流入入口(5)、工艺气体流入出口(6)、工艺气体流入口纵向中轴线(A‑A)和工艺气体流入口横截面(7)的工艺气体流入口(2),带有具有工艺气体分配器纵向中轴线(B‑B)、工艺气体分配器横截面(8)、布置在第一端面(9)上的工艺气体分配器入口(10)和布置在第二端面(11)上的工艺气体分配器出口(12)的工艺气体分配器(3),且带有包括工艺气体流出入口(13)、工艺气体流出出口(14)、工艺气体流出口纵向中轴线(C‑C)和工艺气体流出口横截面(15)的工艺气体流出口(4),其中,工艺气体流入口(2)与工艺气体分配器(3)的第一端面(9)且工艺气体分配器(3)的第二端面(11)与工艺气体流出口(4)如此地相连接,使得构造连续的流动路径(16),其中,工艺气体流入口(2)和工艺气体流出口(4)如此地彼此相对布置,使得工艺气体流入口纵向中轴线(A‑A)和工艺气体流出口纵向中轴线(C‑C)彼此偏移,以及涉及其在反应器系统(31)中的使用。
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