公开(公告)号：CN102553398A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110157724.3

申请日：2011-06-13

Applicant: 韩国科学技术研究院

Inventor： 李相协 ,  李贤姃 ,  李重基 ,  禹柱满 ,  崔在佑 ,  金瀚徶 ,  李旻佑 ,  李玄京 ,  崔浩尚

IPC: B01D53/22 ,  C01B17/45

CPC classification number: Y02C20/30 ,  Y02P20/151

Abstract: 本发明涉及一种通过利用多个分离膜模块的多阶段的分离及回收工序，分离成高浓度的SF6的同时又可提高回收率的SF6分离回收装置及分离回收方法。根据本发明的SF6分离回收装置包括可去除包含SF6的废气中含有的二氧化硫(SO2)及水分的气体预处理装置、将上述废气分离成第一回收气体和第一其他气体的第一分离膜模块、将上述第一回收气体分离成第二回收气体和第二其他气体的第二分离膜模块、储藏通过上述第一分离膜模块分离的第一其他气体的其他气体储存罐、从上述其他气体储存罐中供应接收第一其他气体并将第一其他气体分离成SF6和其他气体的第三分离膜模块，而其中第一回收气体和第二回收气体分别与第一其他气体和第二其他气体相比，均含有高浓度的SF6。