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公开(公告)号：CN101473212A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200780023307.1
申请日：2007-06-20
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01N21/211
Abstract: 本发明涉及椭偏仪，尤其涉及一种对具有特定偏振的光在该光入射到试样表面上然后在该试样表面上反射之后的偏振差异进行分析以便得到该试样的光学特性的椭偏仪。
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