半导体氧化膜椭偏振幅传感装置及测量方法

    公开(公告)号:CN118974540A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380026654.9

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明的一实施例提供不使用需要复杂的驱动装置的旋转检光子或偏振调制装置而只测量满足p波和s波抗反射条件的半导体氧化膜和p波、s波的反射率就能够简便且高灵敏度地获得椭偏测量信号的半导体氧化膜椭偏振幅传感装置及测量方法。本发明的实施例的半导体氧化膜椭偏振幅传感装置包括:微流路结构单元,包括:支撑台,介电体薄膜,形成在支撑台之上形成的衬底之上,盖部,设置在支撑台之上,且在其一侧和另一侧分别具有入射窗和反射窗,以及微流路,是通过盖部和支撑台结合而形成的流路;样品注入部,用于向微流路注入含有生物材料的样品的缓冲溶液,以使在介电体薄膜上形成样品的吸附层;偏振发生部,以使偏振的入射光穿过入射窗以满足p波或s波抗反射条件的入射角(θ)照射至吸附层;以及偏振检测部,用于将被吸附层反射并穿过反射窗的反射光分离为p波和s波的反射率并进行测量,以检测出椭偏测量振幅角。

    多重反射液浸硅基微流路测定装置及测定方法

    公开(公告)号:CN115461608A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202080100193.1

    申请日:2020-09-21

    Abstract: 本发明一实施例提供的多重反射液浸硅基微流路测定装置及测定方法通过多重反射使得从试样检测层反射的第一反射光与从棱镜‑缓冲溶液界面反射的第二反射光完全分离并通过多重反射实现多次入射来放大测量灵敏度。本发明实施例的多重反射液浸硅基微流路测定装置包括:微流路结构体,由支架和至少一个微流路组成,微流路形成在支架上,在微流路形成有试样检测层,在试样检测层固定有用于检测试样的生物结合物质;试样注入部,用于向微流路注入包含试样的缓冲溶液;棱镜单元,设置有棱镜及反射体,反射体通过在棱镜的底面涂敷反射镜面来形成;偏振光发生部,用于发生偏振光(polairzed light);以及偏振光检测部,用于检测反射光的偏振光变化。

Patent Agency Ranking