电磁阻抗测量装置和电磁阻抗校正方法

    公开(公告)号:CN109804256B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201680089734.9

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种电磁阻抗测量装置。电磁阻抗测量装置包括:网络分析器,其包括第一端口和第二端口并用于根据频率来测量散射参数;和多层基板,其通过同轴电缆分别连接到第一端口和第二端口,包括用于连接导电层的过孔,并且包括至少具有最上层、最下层和中间层的三个以上的导电层。多层基板包括:布置在最上层和最下层之间的测试样品;布置在最上层和最下层之间的直通校正样品;布置在最上层和最下层之间的反射校正样品;以及布置在最上层和最下层之间的线校正样品。测试样品、直通校正样品、反射校正样品和线校正样品分别通过第一误差框和第二误差框连接,第一误差框和第二误差框包括具有相同结构的过孔。

    电磁阻抗测量装置和电磁阻抗校正方法

    公开(公告)号:CN109804256A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201680089734.9

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种电磁阻抗测量装置。电磁阻抗测量装置包括:网络分析器,其包括第一端口和第二端口并用于根据频率来测量散射参数;和多层基板,其通过同轴电缆分别连接到第一端口和第二端口,包括用于连接导电层的过孔,并且包括至少具有最上层、最下层和中间层的三个以上的导电层。多层基板包括:布置在最上层和最下层之间的测试样品;布置在最上层和最下层之间的直通校正样品;布置在最上层和最下层之间的反射校正样品;以及布置在最上层和最下层之间的线校正样品。测试样品、直通校正样品、反射校正样品和线校正样品分别通过第一误差框和第二误差框连接,第一误差框和第二误差框包括具有相同结构的过孔。

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