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公开(公告)号：CN104279969A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410320417.6
申请日：2014-07-04
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/0201 , G01B9/02081 , G01B11/14 , G01N21/211 , G01N21/45 , G01N2021/213 , G01S17/36
Abstract: 本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤：将第一波长λ1的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度；将第二波长λ2的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度；并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104279968B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201410319193.7
申请日：2014-07-04
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量装置包括：变波长激光器，其用于将第一波长的激光束和第二波长的激光束顺序地照入射到透明基板的第一位置；光学检测器，其用于检测从所述透明基板透射的透射光束；以及处理单元，其用于在利用所述第一波长的第一透射光束的强度和所述第二波长的第二透射光束的强度的李萨如曲线上提取旋转角度，或者用于提取由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的相邻光线之间的光程差或由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的所述相邻光线之间的相位差。
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公开(公告)号：CN104204720B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380015267.1
申请日：2013-03-18
Applicant: 韩国标准科学研究院
CPC classification number: G01B11/0691
Abstract: 本发明提供了一种透明基板监测装置和透明基板监测方法。所述透明基板监测装置包括：用于发光的发光单元；双狭缝，所述双狭缝布置于在第一方向和第二方向上限定的平面上并且包括在所述第一方向上彼此间隔开以使光能够从中穿过的第一狭缝和第二狭缝，所述第一方向和所述第二方向与入射光的传播方向相交；光学检测单元，所述光学检测单元测量形成在屏幕平面上的干涉图样的强度轮廓或位置；和信号处理单元，所述信号处理单元接收来自所述光学检测单元的信号以计算光学相位差或光程差。
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公开(公告)号：CN104204720A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380015267.1
申请日：2013-03-18
Applicant: 韩国标准科学研究院
CPC classification number: G01B11/0691
Abstract: 本发明提供了一种透明基板监测装置和透明基板监测方法。所述透明基板监测装置包括：用于发光的发光单元；双狭缝，所述双狭缝布置于在第一方向和第二方向上限定的平面上并且包括在所述第一方向上彼此间隔开以使光能够从中穿过的第一狭缝和第二狭缝，所述第一方向和所述第二方向与入射光的传播方向相交；光学检测单元，所述光学检测单元测量形成在屏幕平面上的干涉图样的强度轮廓或位置；和信号处理单元，所述信号处理单元接收来自所述光学检测单元的信号以计算光学相位差或光程差。
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公开(公告)号：CN104279969B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410320417.6
申请日：2014-07-04
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/0201 , G01B9/02081 , G01B11/14 , G01N21/211 , G01N21/45 , G01N2021/213 , G01S17/36
Abstract: 本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤：将第一波长λ1的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度；将第二波长λ2的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度；并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。
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公开(公告)号：CN104279968A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410319193.7
申请日：2014-07-04
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量装置包括：变波长激光器，其用于将第一波长的激光束和第二波长的激光束顺序地照入射到透明基板的第一位置；光学检测器，其用于检测从所述透明基板透射的透射光束；以及处理单元，其用于在利用所述第一波长的第一透射光束的强度和所述第二波长的第二透射光束的强度的李萨如曲线上提取旋转角度，或者用于提取由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的相邻光线之间的光程差或由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的所述相邻光线之间的相位差。
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