公开(公告)号：CN114860006B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202210395457.1

申请日：2022-04-15

Applicant: 青岛明华电子仪器有限公司

Inventor： 陶锡 ,  闫现所 ,  杨崇新 ,  李金莹 ,  徐军 ,  安瑞君 ,  冯庆浩 ,  梅小强 ,  刘朋刚 ,  窦灏 ,  丁万生 ,  李德安 ,  田红兵 ,  刘文亮 ,  殷光升 ,  毕研庚 ,  严涛 ,  谭潇潇 ,  吴晓阳 ,  郭欢礼

IPC: G05D27/02

Abstract: 本公开提供了一种气体流量控制装置的浓度补偿方法，根据目标流量获取差压传感器的理论压差及流量调节单元的初始开度值，基于初始开度值对流量调节单元进行控制，并获取差压传感器的实际压差；判断实际压差与理论压差的差的绝对值是否大于0且小于等于一阈值，若否，则通过实际开度值校正初始开度值来调节流量调节单元；若是，则比较实际压差与理论压差的大小，若实际压差大于理论压差，采用第一补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿，否则，采用第二补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿。有效解决了进气端压力发生无法校正的轻微偏移或现场环境大气压小幅变化而造成流量控制装置无法达到目标流量时，导致气体浓度变化的技术问题。

公开(公告)号：CN114859985A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210395462.2

申请日：2022-04-15

Applicant: 青岛明华电子仪器有限公司

Inventor： 闫现所 ,  杨崇新 ,  刘维盛 ,  李金莹 ,  陶锡 ,  徐军 ,  安瑞君 ,  冯庆浩 ,  梅小强 ,  刘朋刚 ,  窦灏 ,  丁万生 ,  李德安 ,  田红兵 ,  刘文亮 ,  殷光升 ,  毕研庚 ,  严涛 ,  谭潇潇 ,  吴晓阳 ,  郭欢礼

IPC: G05D7/06

Abstract: 本公开提供了一种气体流量控制装置及控制方法，进气端与可调速泵的输入端连接，可调速泵的输出端与限流器的输入端连接，限流器的输出端与出气端连接，差压传感器设置在可调速泵与限流器之间。根据目标流量获取差压传感器的理论压差及可调速泵的第一泵开度值；控制可调速泵达到第一泵开度值，并获取差压传感器的实际压差；判断所述实际压差与所述理论压差是否相等，若否，则根据实际压差计算所述可调速泵的第二泵开度值，并继续对可调速泵进行控制。通过本公开提供的装置及方法，有效解决了现有技术中气体流量控制装置易受采集环境压力变化影响导致流量不稳定的问题。

公开(公告)号：CN114860006A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210395457.1

申请日：2022-04-15

Applicant: 青岛明华电子仪器有限公司

Inventor： 陶锡 ,  闫现所 ,  杨崇新 ,  李金莹 ,  徐军 ,  安瑞君 ,  冯庆浩 ,  梅小强 ,  刘朋刚 ,  窦灏 ,  丁万生 ,  李德安 ,  田红兵 ,  刘文亮 ,  殷光升 ,  毕研庚 ,  严涛 ,  谭潇潇 ,  吴晓阳 ,  郭欢礼

IPC: G05D27/02

Abstract: 本公开提供了一种气体流量控制装置的浓度补偿方法，根据目标流量获取差压传感器的理论压差及流量调节单元的初始开度值，基于初始开度值对流量调节单元进行控制，并获取差压传感器的实际压差；判断实际压差与理论压差的差的绝对值是否大于0且小于等于一阈值，若否，则通过实际开度值校正初始开度值来调节流量调节单元；若是，则比较实际压差与理论压差的大小，若实际压差大于理论压差，采用第一补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿，否则，采用第二补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿。有效解决了进气端压力发生无法校正的轻微偏移或现场环境大气压小幅变化而造成流量控制装置无法达到目标流量时，导致气体浓度变化的技术问题。