阵列光学器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103576314A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310331511.7

    申请日:2013-08-01

    Abstract: 本发明公开一种仪器,具有包括物镜系统的透镜系统。所述物镜系统被布置在光源和多个反应区域之间。所述物镜系统包括场透镜阵列和光瞳面,其中所述光瞳面和所述光源位于场透镜阵列的相对侧。场透镜阵列被布置在所述光源与所述多个反应区域之间,所述场透镜阵列包括多个场透镜阵列元件,其中场透镜阵列中的任意一个场透镜阵列元件的曲率半径、曲率中心的厚度和位置是可变的,并且布置在所述光源和所述反应区域之间的光束路径中,从而所述场透镜阵列元件的任何一个能够将位于所述光源和所述场透镜阵列之间的光瞳光圈成像到位于所述光瞳面上的光瞳,其中位于光瞳面上的光瞳的阵列由场透镜阵列产生。

    阵列光学器件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103576314B

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201310331511.7

    申请日:2013-08-01

    Abstract: 公开一种仪器,具有包括物镜系统的透镜系统。所述物镜系统被布置在光源和多个反应区域之间。所述物镜系统包括场透镜阵列和光瞳面,其中所述光瞳面和所述光源位于场透镜阵列的相对侧。场透镜阵列被布置在所述光源与所述多个反应区域之间,所述场透镜阵列包括多个场透镜阵列元件,其中场透镜阵列中的任意一个场透镜阵列元件的曲率半径、曲率中心的厚度和位置是可变的,并且布置在所述光源和所述反应区域之间的光束路径中,从而所述场透镜阵列元件的任何一个能够将位于所述光源和所述场透镜阵列之间的光瞳光圈成像到位于所述光瞳面上的光瞳,其中位于光瞳面上的光瞳的阵列由场透镜阵列产生。

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