-
公开(公告)号：CN117219513A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311132169.8
申请日：2023-09-04
Applicant: 集美大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/368 , H01L21/477 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种用于金属氧化物薄膜晶体管的低温溶液制备方法。该方法包括下述步骤：将金属硝酸盐溶解于过氧化氢溶液中，再将溶液旋涂在带有介电层的衬底上，最后使用红外灯对金属氧化物薄膜进行光退火处理。该方法具有低功耗、工艺简单、低退火温度、对环境友好、可推广性好等优点的。
Search Results
1
records
(took 0.015 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
