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公开(公告)号：CN210467749U
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201921888445.2
申请日：2019-11-04
Applicant: 陈伟
Abstract: 本实用新型属于离子源技术领域，具体涉及一种具有多孔径进气通道的线性阳极层离子源，包括一具有长条状安装槽的壳体，所述安装槽的槽腔中心处设有一竖向布置的磁体；所述磁体与所述安装槽的槽底、两侧槽壁围合形成两个独立的放电室，所述的放电室内设有阳极支架且在所述放电室的底部设有贯穿壳体的注气孔，所述的阳极支架上设有连续的大直径段进气通道和小直径段进气通道连通至所述的注气孔供气体注入到放电室内，所述注气孔的孔径小于大直径段进气通道的孔径；由于气体通道的多级直径变化，供气瓶的压力被有效缓冲，进入放电室的气体的流速变缓；改变了放电室和离子源外部的真空压力差，使得低流速的气体实现了在放电室中充分的离化。
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