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公开(公告)号：CN106687862A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580048764.0
申请日：2015-09-09
Applicant: 阿科玛法国公司
Inventor： C.纳瓦罗 , C.尼科利特 , X.切瓦利耶
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及用于控制在使用沉积在表面上的包括嵌段共聚物和聚合物的混合物的组合物获得的膜中的缺陷率的方法。所述聚合物包括至少一种与所述嵌段共聚物的任一嵌段中存在的单体相同的单体。
公开(公告)号：CN106687862B
公开(公告)日：2020-12-22
