公开(公告)号：CN113728217B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202080030706.6

申请日：2020-04-24

Applicant: 长野计器株式会社 ,  株式会社电装

Inventor： 小玉博志 ,  吉田直树 ,  宫下香织 ,  武田英嗣 ,  山田信明 ,  友松义浩 ,  柳泽泰史 ,  绿川祐介 ,  釜鸣志朗 ,  横山贤一 ,  豊田稻男 ,  竹内久幸 ,  新美直久 ,  高桥雅和 ,  浦靖武 ,  浅野刚次 ,  蒲田幸广

IPC: G01L9/06

Abstract: 压力传感器具备：芯柱(10)，形成有供压力介质被导入的压力导入孔，并且形成有能够根据压力介质的压力而变形的隔膜(13)；应变检测元件(30)，隔着绝缘膜(20)被配置在隔膜(13)上，输出与隔膜(13)的变形相应的检测信号。应变检测元件(30)构成为具有由多晶硅构成的部分。而且，在绝缘膜(20)与应变检测元件(30)之间配置有低掺杂层(23)，低掺杂层(23)的电阻率比多晶硅高，并且结晶性比绝缘膜提高。

公开(公告)号：CN113728217A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202080030706.6

申请日：2020-04-24

Applicant: 长野计器株式会社 ,  株式会社电装

Inventor： 小玉博志 ,  吉田直树 ,  宫下香织 ,  武田英嗣 ,  山田信明 ,  友松义浩 ,  柳泽泰史 ,  绿川祐介 ,  釜鸣志朗 ,  横山贤一 ,  豊田稻男 ,  竹内久幸 ,  新美直久 ,  高桥雅和 ,  浦靖武 ,  浅野刚次 ,  蒲田幸广

IPC: G01L9/06

Abstract: 压力传感器具备：芯柱(10)，形成有供压力介质被导入的压力导入孔，并且形成有能够根据压力介质的压力而变形的隔膜(13)；应变检测元件(30)，隔着绝缘膜(20)被配置在隔膜(13)上，输出与隔膜(13)的变形相应的检测信号。应变检测元件(30)构成为具有由多晶硅构成的部分。而且，在绝缘膜(20)与应变检测元件(30)之间配置有低掺杂层(23)，低掺杂层(23)的电阻率比多晶硅高，并且结晶性比绝缘膜提高。