公开(公告)号：CN115961252A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211635222.1

申请日：2022-12-19

Applicant: 长安大学

Inventor： 虢婷 ,  陈自强 ,  柯松 ,  李尧 ,  陈永楠

IPC: C23C14/16 ,  C22C45/00 ,  C22C45/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法，属于材料表面防护技术领域。该耐蚀非晶多层薄膜是采用双靶磁控溅射交替沉积两种非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中嵌入极薄的轻合金MgCuY非晶层而形成。本发明制备的非晶多层薄膜结合了单个膜层的优势，同时引入的异质界面可作为腐蚀物质和裂纹的扩散屏障，在本发明的腐蚀环境中，多层膜的耐蚀性相比于纯CoFeTaB非晶薄膜得到大幅度提升。本发明所述的多层膜通过磁控溅射技术制备，得到的薄膜结构稳定、致密，覆盖于机械部件表面可有效其抗腐蚀性能，以延长使用寿命，并且工艺流程简单，过程可控，薄膜质量高，无环境污染，实用性较强，易于实现工业化推广。