公开(公告)号：CN110257780A

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201910575465.2

申请日：2019-06-28

Applicant: 长安大学

Inventor： 孙志平 ,  孟庆杰 ,  田晓东 ,  袁战伟 ,  李玉琴 ,  何光宇 ,  陈永楠

IPC: C23C14/32 ,  C22C14/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明公开了一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法，该多元合金靶材为Ti-Al-Cr-Zr-Mo合金；该复合涂层以钛合金为基体材料，以Ti-Al-Cr-Zr-Mo多元合金为靶材，包括一组或多组沿基体材料依次生长的金属层和氮化物层。该复合涂层的制备方法为：对钛合金基体依次进行离子轰击清洗，采用多弧离子镀对轰击清洗的基体进行多元金属层沉积；在多元金属层之上沉积多元氮化物层，得多元金属/氮化物复合涂层。本发明通过合理设计多元合金靶材的成分，使复合涂层与基体之间相互匹配，使涂层具有良好的抗冲蚀、抗腐蚀、抗氧化性能，且提高涂层与钛合金基体的结合力。

公开(公告)号：CN110257780B

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN201910575465.2

申请日：2019-06-28

Applicant: 长安大学

Inventor： 孙志平 ,  孟庆杰 ,  田晓东 ,  袁战伟 ,  李玉琴 ,  何光宇 ,  陈永楠

IPC: C23C14/32 ,  C22C14/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明公开了一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法，该多元合金靶材为Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo合金；该复合涂层以钛合金为基体材料，以Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo多元合金为靶材，包括一组或多组沿基体材料依次生长的金属层和氮化物层。该复合涂层的制备方法为：对钛合金基体依次进行离子轰击清洗，采用多弧离子镀对轰击清洗的基体进行多元金属层沉积；在多元金属层之上沉积多元氮化物层，得多元金属/氮化物复合涂层。本发明通过合理设计多元合金靶材的成分，使复合涂层与基体之间相互匹配，使涂层具有良好的抗冲蚀、抗腐蚀、抗氧化性能，且提高涂层与钛合金基体的结合力。