公开(公告)号：CN119170484A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202411516556.6

申请日：2024-10-29

Applicant: 钢研纳克检测技术股份有限公司

Inventor： 王雷 ,  沈学静 ,  李凯 ,  王立平 ,  赵海娜 ,  酆智强 ,  方哲 ,  任立志

IPC: H01J49/24 ,  H01J49/42 ,  H01J49/04

Abstract: 本发明提供了一种用于质谱的可分别调压多级真空系统，属于质谱仪技术领域。本发明包括多级真空腔体和用于对多级真空腔体抽真空的真空泵；多级真空腔体至少包括第一级真空腔体、第二级真空腔体、第三级真空腔体、第四级真空腔体和第五级真空腔体。本发明能够满足空间串联质谱仪不同结构单元的气压需求，尤其是同时满足碰撞反应池的工作气压范围较高，同时其两侧质量分析器的工作气压较低的需求，从而满足全质量范围的样品测试需求，提高仪器灵敏度，能够有效去除测试中的干扰，显著提高仪器的测试性能，实现痕量或超痕量检测。