公开(公告)号：CN101958232B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201010186282.0

申请日：2010-05-28

Applicant: 重庆邮电大学

Inventor： 王巍 ,  李博 ,  罗元 ,  李垒 ,  徐华 ,  贾培发

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提出了一种基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法，在等离子体刻蚀机的反应腔室外壁开一个窗口，安装内反射晶体，在窗口的一端安装ATR-FTIR光谱探针，另一端安装红外探测器，使傅里叶变换红外光谱探针发射的光线在内反射晶体内多次反射后，从内反射晶体另一端射出，聚焦到红外探测器，所述碲镉汞探测器与图谱处理系统连接；定期或实时取得等离子体刻蚀机反应腔室内壁的傅里叶变换红外光谱图谱，用于测量所附着的聚合物的组分，通过与标准傅里叶变换红外光谱图谱进行比较，确定是否需要对反应腔室进行清洗，如是，则对等离子体刻蚀机反应腔室进行清洗。

公开(公告)号：CN101958232A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010186282.0

申请日：2010-05-28

Applicant: 重庆邮电大学

Inventor： 王巍 ,  李博 ,  罗元 ,  李垒 ,  徐华 ,  贾培发

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提出了一种基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法，在等离子体刻蚀机的反应腔室外壁开一个窗口，安装内反射晶体，在窗口的一端安装ATR-FTIR光谱探针，另一端安装红外探测器，使傅里叶变换红外光谱探针发射的光线在内反射晶体内多次反射后，从内反射晶体另一端射出，聚焦到红外探测器，所述碲镉汞探测器与图谱处理系统连接；定期或实时取得等离子体刻蚀机反应腔室内壁的傅里叶变换红外光谱图谱，用于测量所附着的聚合物的组分，通过与标准傅里叶变换红外光谱图谱进行比较，确定是否需要对反应腔室进行清洗，如是，则对等离子体刻蚀机反应腔室进行清洗。