大功率LED芯片倒焊装方法

    公开(公告)号:CN1971952A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610095206.2

    申请日:2006-11-15

    CPC classification number: H01L2224/16

    Abstract: 本发明请求保护一种大功率LED芯片倒装焊方法,涉及微电子技术领域,本发明所采用的技术方案是在LED芯片上淀积TiNiAg层,在LED芯片电极上淀积金属铟,在硅基板上淀积TiNiAg层,对应于LED芯片电极位置的硅基电板上淀积铟,并在其上制作金球,然后将经上述加工的LED芯片与硅基板倒装焊接在一起,从而形成铟-金-铟焊装结构,以铟作为热膨胀缓冲,使LED芯片装焊的热膨胀失配率大大下降,热匹配性好,热阻小,热量散发快,从而大大提高了大功率LED的寿命。

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