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公开(公告)号：CN101393321B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810232832.0
申请日：2008-10-09
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明提出一种光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法，其结合当MEMS器件与CMOS电路单片集成的加工工艺，首先利用CMOS电路加工有源矩阵驱动电路，然后利用低温的表面微机械加工工艺得到MEMS光栅光调制器，实现支撑在下电极上的上层可动光栅形成的MEMS光栅光调制器和下层有源矩阵驱动电路的单片集成。利用该工艺加工的光栅光调制器，可以面向高清晰度、高分辨率投影显示。
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公开(公告)号：CN101393321A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810232832.0
申请日：2008-10-09
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明提出一种光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法，其结合当MEMS器件与CMOS电路单片集成的加工工艺，首先利用CMOS电路加工有源矩阵驱动电路，然后利用低温的表面微机械加工工艺得到MEMS光栅光调制器，实现支撑在下电极上的上层可动光栅形成的MEMS光栅光调制器和下层有源矩阵驱动电路的单片集成。利用该工艺加工的光栅光调制器，可以面向高清晰度、高分辨率投影显示。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101382656A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810232833.5
申请日：2008-10-09
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种能够对入射光进行相位调制的桥式光调制器及其阵列，它是基于MOEMS技术在硅片上分层构造的器件。在底层反射面正上方有一组双端支撑的弹性梁，弹性梁上由两锚点支撑金属反射栅条，形成顶层反射面。顶层反射面和底层反射面之间的间距可变，在两者之间不加电压时，间距为nλ/2；加固定偏置电压V1时，间距为(2n－1)λ/4；当施加电压范围在0－V1之间时，间距在nλ/2至(2n－1)λ/4之间线性可调。使用多个这样的光调制器形成阵列时，每个光调制器都可以独立施加偏置电压，顶层反射面作垂直平动，形成衍射效果不同的点阵，使得像素投影成像在光栅方向上没有间隙，达到无缝显示的效果。这种光调制器可广泛地用于显示、投影、印刷、光通讯、光谱仪上。
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公开(公告)号：CN101382655A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810232831.6
申请日：2008-10-09
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及一种有源矩阵驱动的光栅光调制器，由上层的光栅光调制器和下层的有源矩阵驱动组成。扫描信号线和数据信号线分别连接到有源矩阵中开关管的栅极和漏极，有源矩阵的输出连接到光栅光调制器的下电极，而光栅光调制器上电极接地。有源矩阵的输出电压等于光栅光调制器的电压。当扫描信号线为高电平时，有源矩阵开启，数据信号线对有源矩阵的输出电压进行更新；当扫描信号线为低电平时，有源矩阵截止，有源矩阵的输出电压保持。这样，通过控制有源矩输出电压的更新或者保持，可以实现对光栅光调制器运动状态的控制。本光栅光调制器可以消除交叉效应，提高光学对比度和光利用率，真正面向高清晰、高分辨率的投影显示。
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公开(公告)号：CN101567173B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200910103954.4
申请日：2009-05-26
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明提供一种光栅光调制器投影装置的控制扫描电路，实现光栅光调制器应用于高分辨率、高清晰度的投影显示；光栅光调制器投影装置的控制扫描电路，用以驱动M列×N行个光栅光调制器组成的像素阵列，包括有源矩阵驱动电路，由M×N个有源矩阵驱动单元组成，根据控制信号和图像信号，控制光栅光调制器的电压，以实现对光的调制；第一驱动电路，接收控制装置发出的控制信号，以选通同一直线上的光栅光调制器；以及第二驱动电路，接收控制装置发出的控制信号和图像信号，以将图像数据输出到选通的光栅光调制器。
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公开(公告)号：CN100595629C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200810232833.5
申请日：2008-10-09
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种能够对入射光进行相位调制的桥式光调制器及其阵列，它是基于MOEMS技术在硅片上分层构造的器件。在底层反射面正上方有一组双端支撑的弹性梁，弹性梁上由两锚点支撑金属反射栅条，形成顶层反射面。顶层反射面和底层反射面之间的间距可变，在两者之间不加电压时，间距为nλ/2；加固定偏置电压V1时，间距为(2n-1)λ/4；当施加电压范围在0-V1之间时，间距在nλ/2至(2n-1)λ/4之间线性可调。使用多个这样的光调制器形成阵列时，每个光调制器都可以独立施加偏置电压，顶层反射面作垂直平动，形成衍射效果不同的点阵，使得像素投影成像在光栅方向上没有间隙，达到无缝显示的效果。这种光调制器可广泛地用于显示、投影、印刷、光通讯、光谱仪上。
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公开(公告)号：CN101567173A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910103954.4
申请日：2009-05-26
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明提供一种光栅光调制器投影装置的控制扫描电路，实现光栅光调制器应用于高分辨率、高清晰度的投影显示；光栅光调制器投影装置的控制扫描电路，用以驱动M列×N行个光栅光调制器组成的像素阵列，包括有源矩阵驱动电路，由M×N个有源矩阵驱动单元组成，根据控制信号和图像信号，控制光栅光调制器的电压，以实现对光的调制；第一驱动电路，接收控制装置发出的控制信号，以选通同一直线上的光栅光调制器；以及第二驱动电路，接收控制装置发出的控制信号和图像信号，以将图像数据输出到选通的光栅光调制器。
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