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公开(公告)号：CN109366459A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811157091.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种利用光纤布拉格光栅测量夹持力和夹爪位移的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳不能同时对夹持力和夹爪位移进行精确测量的问题。其技术方案包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、控制器、与控制器连接的FBG解调仪，以及与所述FBG解调仪连接的光纤布拉格光栅复用传感器，单片柔性机构包括：位移放大机构、对称设置的两个夹持力传感机构以及对称设置的两个夹爪，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级、两个夹持力传感机构和两个夹爪一一对应，且位移放大机构的输出级、夹持力传感机构和夹爪依次连接。
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公开(公告)号：CN109231161A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811157170.5
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种夹爪为光纤Fabry-Perot干涉仪且可自传感的微夹钳的制作方法，通过该制作方法制作的微夹钳能解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感问题。该方法包括：将石英毛细管分别与反射光纤和输入/输出光纤熔接，形成光纤Fabry-Perot干涉仪；在反射光纤上加工形成夹爪的夹持部；在硅片的上下表面形成氧化层；通过光刻胶在硅片的上氧化层光刻凹槽图案和在硅片的下氧化层光刻单片柔性机构的图案，并对硅片的上表面上未被光刻胶覆盖的部分和下表面上未被光刻胶覆盖的部分进行刻蚀，形成凹槽和单片柔性机构；将光纤Fabry-Perot干涉仪分别与凹槽和单柔性机构安装，并将输入/输出光纤、F-P解调仪、执行器、F-P解调仪和控制器对应连接。
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公开(公告)号：CN109231152A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811158063.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种利用光纤Fabry-Perot干涉仪测量夹持力和夹爪位移的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳不能同时对夹持力和夹爪位移进行精确测量的问题。其技术方案包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、控制器与、控制器连接的F-P解调仪，以及与F-P解调仪连接的光纤Fabry-Perot复用传感器，单片柔性机构包括：位移放大机构、对称设置的两个夹持力传感机构以及对称设置的两个夹爪，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级、两个夹持力传感机构和两个夹爪一一对应，且位移放大机构的输出级、夹持力传感机构和夹爪依次连接。
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公开(公告)号：CN109249416B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201811157144.2
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及夹爪为光纤布拉格光栅且可夹持力自传感的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感的问题。其包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、FBG解调仪、与执行器和FBG解调仪连接的控制器，单片柔性机构包括：位移放大机构，位移放大机构的输入级与执行器抵接，位移放大机构的两个输出级分别对应连接有一个夹爪；微夹钳还包括：一个或两个第一光纤布拉格光栅，一个第一光纤布拉格光栅对应一个夹爪，第一光纤布拉格光栅包括：用于形成夹爪的夹持部和用于形成对夹爪对待夹持部件进行夹持时产生的形变进行传感的夹持力传感部，第一光纤布拉格光栅与FBG解调仪连接。
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公开(公告)号：CN109231152B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811158063.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种利用光纤Fabry‑Perot干涉仪测量夹持力和夹爪位移的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳不能同时对夹持力和夹爪位移进行精确测量的问题。其技术方案包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、控制器与、控制器连接的F‑P解调仪，以及与F‑P解调仪连接的光纤Fabry‑Perot复用传感器，单片柔性机构包括：位移放大机构、对称设置的两个夹持力传感机构以及对称设置的两个夹爪，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级、两个夹持力传感机构和两个夹爪一一对应，且位移放大机构的输出级、夹持力传感机构和夹爪依次连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109129411B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201811183170.2
申请日：2018-10-11
Applicant: 重庆大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明涉及一种集成夹持力传感器和夹爪位移传感器的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳不能同时对夹持力和夹爪位移进行测量，以及不能保证夹爪平行移动的问题。其技术方案包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、控制器、与控制器连接的应变解调仪，以及与应变解调仪连接的夹持力传感器和夹爪位移传感器，单片柔性机构包括：位移放大机构、对称设置的两个夹持力传感机构以及对称设置的两个夹爪，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级、两个夹持力传感机构和两个夹爪一一对应，且位移放大机构的输出级、夹持力传感机构和夹爪依次连接。
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公开(公告)号：CN109129410B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201811157107.1
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明涉及夹爪为光纤Fabry‑Perot干涉仪且可夹持力自传感的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感的问题。其包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、F‑P解调仪、以及与执行器和F‑P解调仪连接的控制器，单片柔性机构包括：位移放大机构，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级分别对应连接有一个夹爪；微夹钳还包括：一个或两个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪，一个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪对应一个夹爪，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪包括：用于形成夹爪的夹持部以及用于形成对夹爪对待夹持部件进行夹持时产生的形变进行传感的夹持力传感部，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪与F‑P解调仪连接。
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公开(公告)号：CN111299996A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010163411.8
申请日：2020-03-10
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种微夹持机器人，实现微型零件的夹持和高精密运动定位的同时可实现对夹爪位移、夹持力和微装配力的检测和反馈控制。微夹持机器人由同时实现夹爪位移检测、夹持力检测和微装配力检测的微夹钳、精密定位系统和微夹持机器人控制器构成，实现沿X轴、Y轴和Z轴的直线运动和旋转运动，同时实现对夹爪位移、夹持力和微装配力的同时检测、传感与反馈。微夹钳由基座、固定在基座上的单片柔顺机构、执行器以及微夹钳控制构成。单片柔顺机构上有对称设置的一级杠杆机构、对称设置的三级串联平行四边形机构和对称设置的夹爪。
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公开(公告)号：CN109231161B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811157170.5
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B6/13
Abstract: 本发明的目的在于提供一种夹爪为光纤Fabry‑Perot干涉仪且可自传感的微夹钳的制作方法，通过该制作方法制作的微夹钳能解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感问题。该方法包括：将石英毛细管分别与反射光纤和输入/输出光纤熔接，形成光纤Fabry‑Perot干涉仪；在反射光纤上加工形成夹爪的夹持部；在硅片的上下表面形成氧化层；通过光刻胶在硅片的上氧化层光刻凹槽图案和在硅片的下氧化层光刻单片柔性机构的图案，并对硅片的上表面上未被光刻胶覆盖的部分和下表面上未被光刻胶覆盖的部分进行刻蚀，形成凹槽和单片柔性机构；将光纤Fabry‑Perot干涉仪分别与凹槽和单柔性机构安装，并将输入/输出光纤、F‑P解调仪、执行器、F‑P解调仪和控制器对应连接。
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公开(公告)号：CN109129410A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811157107.1
申请日：2018-09-30
Applicant: 重庆大学
IPC: B25J7/00
CPC classification number: B25J7/00
Abstract: 本发明涉及夹爪为光纤Fabry‑Perot干涉仪且可夹持力自传感的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感的问题。其包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、F‑P解调仪、以及与执行器和F‑P解调仪连接的控制器，单片柔性机构包括：位移放大机构，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级分别对应连接有一个夹爪；微夹钳还包括：一个或两个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪，一个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪对应一个夹爪，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪包括：用于形成夹爪的夹持部以及用于形成对夹爪对待夹持部件进行夹持时产生的形变进行传感的夹持力传感部，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪与F‑P解调仪连接。
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