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公开(公告)号：CN100388974C
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200610054414.8
申请日：2006-07-05
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种金属离子掺杂非晶态二氧化钛光催化材料及其制备工艺，属于TiO2光催化薄膜材料技术领域。本发明的光催化材料由Ti、Cr或V金属离子及O组成。本发明的工艺是以玻璃和不耐高温的高分子材料及其它各类材料为基材，采用直流、射频磁控反应共溅射的方法，以Ti靶为磁控溅射直流端的阴极，以金属(Cr或V)靶为磁控溅射射频端的阴极，以基材为阳极，N2为工作气体，Ar2为溅射气体，O2为反应气体，通过调节直流端和射频端的输入功率以及溅射时间等工艺参数，分别控制Ti和金属离子(Cr或V)的相对含量和薄膜的厚度。可广泛用于废水处理、空气净化、消毒杀菌以及玻璃瓷砖表面自洁净等方面。
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公开(公告)号：CN1876229A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610054414.8
申请日：2006-07-05
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种非晶态金属离子掺杂二氧化钛光催化材料及其制备工艺，属于TiO2光催化薄膜材料技术领域。本发明的光催化材料由Ti、Cr或V金属离子及O组成。本发明的工艺是以玻璃和不耐高温的高分子材料及其它各类材料为基材，采用直流、射频磁控反应共溅射的方法，以Ti靶为磁控溅射直流端的阴极，以金属(Cr或V)靶为磁控溅射射频端的阴极，以基材为阳极，N2为工作气体，Ar2为溅射气体，O2为反应气体，通过调节直流端和射频端的输入功率以及溅射时间等工艺参数，分别控制Ti和金属离子(Cr或V)的相对含量和薄膜的厚度。可广泛用于废水处理、空气净化、消毒杀菌以及玻璃瓷砖表面自洁净等方面。
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